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气体流量传感元件
MEAS的气体流量传感元件由快速响应的镍热膜和氮化硅基板组成,以确保传感器的高灵敏度和快速响应速度。传感器适合汽车行业的应用。芯片还包括一个用于补偿环境温度的参考传感器,由与热膜相同材料的镍电阻薄膜制成。
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